« LaWaTap », une nouvelle generation de sonde atomique tomographique

Une sonde permettant d’imager en trois dimensions a l’echelle atomique les
mauvais conducteurs de l’electricite, et en particulier les
semi-conducteurs, c’est l’instrument -une sorte de « microscope »
exceptionnel- que le Groupe de Physique des Materiaux (GPM ) de l’Universite
de Rouen vient de mettre au point. Durant les annees 90, ce laboratoire
avait developpe une premiere generation de sonde atomique tomographique.
Mais jusqu’a present, celle-ci etait limitee aux metaux et materiaux bons
conducteurs de l’electricite.

Baptisee « LaWaTap » (Laser assisted Wide angle Tomographic atom prob), cette
nouvelle generation de sonde utilise des impulsions laser femto-seconde a la
place d’impulsions electriques pour evaporer les atomes depuis
l’echantillon. Idee forte et novatrice apportee par l’equipe du GPM,
l’utilisation d’impulsions ultra-rapides permet de limiter considerablement
l’augmentation de temperature de l’echantillon, ce qui assure ainsi une
excellente resolution en masse et en surface de l’echantillon.

Permettant d’analyser les materiaux peu conducteurs d’electricite, la
« LaWaTap » suscite d’ores et beaucoup d’enthousiasme dans la communaute
scientifique. Ainsi de nouvelles collaborations se sont tissees entre le GPM
de Rouen et des laboratoires interesses par la microelectronique. Pour faire
face aux demandes, CAMECA, l’entreprise qui commercialise cette sonde, vient
d’embaucher une doctorante, apres avoir embauche un jeune docteur issu du
GPM. Deux appareils vont etre prochainement livres en Coree du Sud et en
Belgique, dans l’un des plus importants instituts de microelectronique,
l’IMEC de Louvain.

Pour en savoir plus, contacts :

Groupe de Physique des Materiaux (CNRS/Universite de Rouen) : tel. +33(0)2
32 95 50 31 Fax. +33(0)2 32 95 50 32
http://www.univ-rouen.fr/gpm/index_francais.htm
Redacteur : ADIT - Jean-Francois Desessard - Email : jfd adit.fr
BE France numero 190 (3/04/2007) - ADIT / ADIT -
http://www.bulletins-electroniques.com